Als Präzisionsinstrumente werden Messgeräte oder Maschinen bezeichnet, die eine hohe Auflösung erreichen zusammen mit einer außergewöhnlich kleinen Positions- oder Messabweichung.
Um die Präzision zu garantieren, müssen sie noch weitere Kriterien erfüllen, vor allem eine hohe mechanische Stabilität
ausreichende Feuchte- und Temperaturbeständigkeit innerhalb ihres Einsatzbereiches
gute Reproduzierbarkeit ihrer Ergebnisse.