Röntgenspektroskopie (XRS) ist der Oberbegriff für eine Vielzahl unterschiedlicher spektroskopischer Messverfahren der Physik, deren Gemeinsamkeit in der Anwendung der Röntgenstrahlung liegt. Grob lässt sich der Teil des elektromagnetischen Spektrums der Röntgenstrahlung noch weiter in die harte Röntgenstrahlung und die weiche Röntgenstrahlung einteilen: Röntgenabsorptionsspektroskopie (XAS)
Röntgenemissionsspektroskopie (XES)
Photoelektronenspektroskopie (XPS)
Röntgenfluoreszenzanalyse (XRF)
Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX)
Wellenlängendispersive Röntgenspektroskopie (WDX)