[1] : Die Fotolithografie ist eine der zentralen Methoden der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik zur Herstellung von integrierten Schaltungen und weiteren Produkten.
Fotolithografie bezeichnet: Verfahren in der Druckindustrie, siehe Fotolithografie (Drucktechnik)
historisches Verfahren in der Druckindustrie, siehe Photolithographie
Strukturierungsverfahren in der Halbleitertechnik, siehe Fotolithografie (Halbleitertechnik)